表面粗糙度儀由感測器☁▩✘•、驅動器☁▩✘•、指零表☁▩✘•、記錄器和電感感測器是輪廓儀的主要部件之一│☁,在感測器測杆的一端裝有金剛石觸針│☁,觸針尖曲率半徑r很小│☁,測量時將觸針搭在工件上│☁,與被測表面垂直接觸│☁,利用驅動器以一定的 速度拖動感測器₪↟·。
由於被測表面輪廓峰谷起伏│☁,觸狀在被測表面滑行時│☁,將產生上下移動₪↟·。此運動經支點使磁芯同步地上下運動│☁,從而使包圍在磁芯外面的兩個差動電感線圈的電感量發生變化₪↟·。
感測器的線圈與測量線路是直接接入平衡電橋的│☁,線圈電感量的變化使電橋失 去平衡│☁,於是就輸出一個和觸針上下的位移量成正比的訊號│☁,經電子裝置將這一微弱電量的變化放大☁▩✘•、 相敏檢波後│☁,獲得能表示觸針位移量大小和方向的訊號₪↟·。
此後│☁,將訊號分成三路✘·│₪:一路加到指零表上│☁, 以表示觸針的位置│☁,一路輸至直流功率放大器│☁,放大後推動記錄器進行記錄;另一路經濾波和平均表放大器放大之後│☁,進入積分計算器│☁,進行積分計算│☁,即可由指示表直接讀出表面粗糙度Ra值₪↟·。
傳統表面粗糙度測量儀工作原理框圖指零表的作用反映鐵芯在差動電感線圈中所處的位置₪↟·。當鐵芯處於差動電感線圈的中間位置時│☁,指零表指標指示出零位│☁,即保證處於電感變化的線性範圍之內₪↟·。
所以│☁,在測量之前│☁,必須調整指零表│☁,使其處於零位₪↟·。經過噪聲濾波和波度濾波以後│☁,剩下來的就是與被測表面粗糙度成比例的訊號│☁,再經平均表放大器後│☁,所輸出的電流I與被測表面輪廓各點偏離中線的高度y的絕對值成正比│☁,然後經積分器完成的積計算│☁,得出Ra值│☁,由指零表顯示出來₪↟·。
這種儀器適用於測定0.02-10μm的Ra值│☁,其中有少數型號的儀器還可測定更小的引數值│☁,儀器配有各種附件│☁,以適應平面☁▩✘•、內外圓柱面☁▩✘•、圓錐面☁▩✘•、球面☁▩✘•、曲面☁▩✘•、以及小孔☁▩✘•、溝槽等形狀的工件表面測量₪↟·。測量迅速方便│☁,測值精度高₪↟·。